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台面尺寸40×40mm,行程12.5mm,轻载型,内挂式。采用0.5mm螺距的精密螺纹丝杆推进,两相步进电机驱动。滚珠导轨结构,适合负载轻、移动平行度要求不高的场合使用。
台面尺寸为148x148mm的连体电动三维平移台,Z向行程为20mm,XY向行程50mm,底部的XY二维采用连体结构,总体高度较低。平台采用精密丝杆推进,两相步进电机驱动,重载的滑动结构,保证平台运行更好的载重能力。