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台面尺寸60mm,行程10mm的超精密的台式三维平移台,采用交叉滚柱导轨结构,保证平台运行更好的载重能力、移动的直线性和稳定性。采用细牙调节螺杆,调节的最高分辨率达0.01um。
60×60mm台面,微分头直顶的台式连体三维台,行程13mm,最小读数0.01mm。该产品的二维平移采用连体形式,降低了整体高度,采用线性滚珠导轨,是轻载型平移升降台。
60×60mm台面,微分头直顶的台式连体三维台,行程13mm,最小读数0.005mm。该产品的二维平移采用连体形式,降低了整体高度,采用线性滚珠导轨,是轻载型平移升降台。
76×76mm台面,微分头直顶的台式连体三维台,行程25mm,最小读数0.01mm。该产品的二维平移采用连体形式,降低了整体高度,采用交叉滚柱导轨,提高结构强度。
76×76mm台面,微分头直顶的台式连体三维台,行程25mm,最小读数0.005mm。该产品的二维平移采用连体形式,降低了整体高度,采用交叉滚柱导轨,重载结构。
60×60mm台面,微分头侧顶的台式连体三维台,平移行程13mm,最小读数0.01mm;升降行程10mm,最小读数:1mm。该产品的二维平移采用连体形式,整体高度大大降低,采用线性滚珠导轨,是轻载型平移升降台。
60×60mm台面,微分头侧顶的台式连体三维台,平移行程13mm,最小读数0.005mm;升降行程10mm,最小读数:1mm。该产品的二维平移采用连体形式,整体高度大大降低,采用线性滚珠导轨,是轻载型平移升降台。