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XYM60H-25 小行程二维电动平移台
(快速索引号) |
570-5 |
|
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型号 (方向:XY) |
XYM60H-25 |
|
选配其他螺距 |
XYM60H-25-1或2 |
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台面尺寸(mm) |
60×60 |
|
行程(mm) |
25 |
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丝杆螺距(mm) |
0.5(选配1或2) |
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整步分辨率(um) |
2.5(选配5或10) |
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50细分分辨率(um) |
0.05(选配0.1或0.2) |
|
重复定位精度(um) |
±1 |
|
单轴 |
运动直线度(um) (移动时左右摆动) |
±1 |
运动平行度(um) (移动时左右摆动) |
±4 |
|
台面平整度(um) |
±10 |
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两相步进电机规格 |
35加长 |
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最大速度(mm/s) |
2.5(选配5或10) |
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承载(kg) |
10 |
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滑动导轨 |
交叉滚柱导轨 |
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自重(kg) |
1.5 |
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选配超精密平移台 |
XYM60H-25-U |
XYM60H-25 小行程二维电动平移台