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SO4 电动多维光学耦合机构 (索引号:751-1)

所属系列:个性化定制产品-SO 特制光学耦合机构

SO4 电动多维光学耦合机构

 

左侧电动五维调节机构,放置被观测耦合物件,实现三维电动平移和二维弧摆旋转调节;

右侧三维手动调节机构,实现精密直线运动;

通过上方CCD监测的反馈,实现系统的电动耦合,大大提高耦合效率。

  • 具体参数
  • 产品简介
  • 文档下载
电动部分主要参数:
 
X、Y行程:25mm,分辨率:0.5um
Z行程:10mm,分辨率:0.5um
θX(弧摆)范围:±10°,分辨率:0.002°
θZ(旋转)范围:±360°,分辨率:0.002°
 
 
手动部分主要参数:
 
X、Y行程:13mm,分辨率:1um
Z行程:10mm,分辨率:1um

SO4 电动多维光学耦合机构

 

      电动多维光学耦合机构左侧是电动五维调节机构,上面放置被观测耦合物件,实现器件的三维电动平移和二维弧摆旋转调节运动。右侧是三维手动调节机构,实现精密直线运动,通过上方CCD监测的反馈,实现系统的电动耦合,大大提高耦合效率。

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