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SO4 电动多维光学耦合机构
左侧电动五维调节机构,放置被观测耦合物件,实现三维电动平移和二维弧摆旋转调节;
右侧三维手动调节机构,实现精密直线运动;
通过上方CCD监测的反馈,实现系统的电动耦合,大大提高耦合效率。
SO4 电动多维光学耦合机构
电动多维光学耦合机构左侧是电动五维调节机构,上面放置被观测耦合物件,实现器件的三维电动平移和二维弧摆旋转调节运动。右侧是三维手动调节机构,实现精密直线运动,通过上方CCD监测的反馈,实现系统的电动耦合,大大提高耦合效率。