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ST11 六维真空靶调整架
该装置是六维真空靶调整架,可以实现XYZ三维电动直线,二维电动弧摆,一维电动旋转的精密调节。该调整架调节精度高,稳定性好,承载能力大,适合重载的六维精密调节场合使用,台面上可以安装各种需要六维电动调节的物件。该调整架可以在真空中使用。
主要参数:
运动方向:XYZ(直线),θXθY(弧摆),θZ(旋转)
行程:XY:50mm, Z:20mm, θX:±15°,θY:±10°,θZ:360°
运行分辨率: XYZ:1um, θXθY:0.005°, θZ:0.005°
稳定性指标:调节完后最初2小时内最大漂移不超过5um
ST11 六维真空靶调整架
该装置是六维真空靶调整架,可以实现XYZ三维电动直线,二维电动弧摆,一维电动旋转的精密调节。该调整架调节精度高,稳定性好,承载能力大,适合重载的六维精密调节场合使用,台面上可以安装各种需要六维电动调节的物件。该调整架可以在真空中使用。